便携式黄绿光表面检查灯LUYOR-3325G-用于晶圆表面质量检测
便携式黄绿光表面检查灯LUYOR-3325G采用了36w的高功率led作为光源,能够发出570-580nm的黄绿光,光斑均匀,产品轻便,可以手持着检查产品表面的颗粒物、划痕、手印等产品缺陷,也可以配合台式支架作为台式表面检查灯进行长时间检查。
坚固耐用、维护成本低的便携式黄绿光表面检查灯LUYOR-3325G进行光学晶圆检测,与 100 瓦高压汞灯相比,具有以下优势:
1.轻便:没有繁重电源箱,手持操作,方便快捷。
2.省时:即可即用,无需等待。
3.经济:光源寿命长达50000小时,无须频繁更换灯泡。
4.光斑均匀,检查效率高,减少漏检。
5.安全:长时间运行,不发烫,没有烫伤危险。
6.高效:led光源,发光效率高,节省能源。
7.光谱纯正:不会产生紫外线。
上图:交流供电的便携式表面检查灯LUYOR-3325G
哪些类型的晶圆可以用黄绿光表面检查灯LUYOR-3325G检查?
半导体和芯片制造中的晶圆检测
太阳能行业和光伏发电的晶圆测试
所有晶圆尺寸的视觉晶圆表面测试:25mm(1英寸)、38mm(1.5英寸)、51mm(2英寸)、75mm(3英寸)、100mm(4英寸)、125mm(5英寸)、150mm(6英寸)、200mm(8英寸)、300mm(12英寸)、450mm(18英寸)
外延晶圆的检测
单晶硅片和多晶晶片的光学测试
硅片表面的目视测试
也可以检查方形晶圆
原晶圆和结构化晶圆的测试
外延晶圆(EPI晶圆)和SOI晶圆表面分析
用黄光灯测试金晶圆
使用紫外灯目视检查晶体硅片
所有材料晶圆的光学表面检测:硅、锗、碳化硅、砷化镓、蓝宝石、玻璃等。
SEMI标准晶圆的目视检测
键合晶圆、胶带晶圆的质量检查
视觉晶圆检测也适用于裸晶圆、薄晶圆和扇出晶圆
强曲面晶圆(eLWB等)的光学质量控制和检测等。
上图:电池供电款表面检查灯LUYOR-3325GD
颗粒检测-减少晶圆生产/半导体生产中的污染
除了晶圆检测过程中的目视表面检测,即通过黄光灯或绿光灯进行部分自动化的晶圆检测外,许多半导体制造商还有进一步的要求:
使用测试灯检查系统中的颗粒污染
使用黄光表面检查灯或UV-LED紫外线灯进行粒子检测
晶圆生产过程中洁净室中质量控制的颗粒检查
搜索并查找用于清洁半导体生产中机器的颗粒
在持续的质量控制过程中清洁和保持生产设备的清洁
在大多数情况下,颗粒检测只能通过人工检查进行,因此可以使用便携式表面检查灯、绿灯或紫外线灯进行检查。
上图:表面检查灯LUYOR-3325G检查晶圆表面颗粒物
上图:表面检查灯LUYOR-3325G检查玻璃屏幕的划痕和颗粒物